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[多选题]
气相沉积过程包括哪几个环节()。
A.气相物质的产生
B.气相物质的输运
C.气相物质在工件表面沉积形成固态薄膜
D.沉积材料蒸发
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A.气相物质的产生
B.气相物质的输运
C.气相物质在工件表面沉积形成固态薄膜
D.沉积材料蒸发
常温常压下液化石油气为()体,比空气,故沉积低洼处
A.气,轻,不易
B.气,重,易
C.气,轻,易
D.气,重,不易
简易瞬态工况法检测过程监控项目主要包括()。
A.设备通讯状况
B.车速
C.加载功率
D.[CO]+[CO2]
E.汽车排放尾气低流量
F.分析仪样气低流量
G.集气管低流量
处于临界状态的物质:()
A.属于液相
B.属于气相
C.即可属于液相也可属于气相
D.即不属于液相也不属于气相